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機器検索:
当センターが所有している主要な機器を表示・検索することができるページです。
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高精度干渉計

名称高精度干渉計
メーカーザイゴ社(USA)
型式GPI-XPHR
仕様測定ビーム口径:
 4インチ(拡張アタッチメントにより6インチ)

測定精度:平面 λ/20、球面 λ/10
再現性:λ/300PV(2σ),λ/2000 rms(2σ)
分解能:λ/12000

面精度測定が可能な曲率半径の範囲:
 凸面 0〜1500mm 凹面 0〜-1500mm
曲率半径測定における測定精度:
 曲率半径R=100mm以下の場合 1μm
 曲率半径R=100mm以上の場合 10ppm
用途【平面、球面の精度測定】
 本装置はフィゾー位相測定方式の干渉計で、球面、平面等の面精度、曲率半径を高精度に測定できます。
 面形状/波面収差の解析・三次元表示、ツエルニケ収差解析等の解析機能を有しています。
分類機械計測に関する機器
購入年度1999年度
設置場所群馬産業技術センター(前橋)
補助事業名電源地域産業集積活性化事業