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電子線マイクロアナライザー(EPMA)

名称電子線マイクロアナライザー(EPMA)
メーカー(株)島津製作所
型式EPMA1610
仕様分析元素範囲 ホウ素〜ウラン
X線分光器 波長分散型5チャンネル
電子源:CeBixカソード、Wフィラメント
用途 試料表面に電子線を照射し、飛び出してくる特性X線を検出することによって試料を破壊することなく、元素分析を行います。
 同時に二次電子を検出することで走査型電子顕微鏡として試料像観察を行うことも出来ます。
分類機器分析に関する機器
購入年度2003年度
設置場所群馬産業技術センター(前橋)
補助事業名地域再生産業集積対策事業