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薄膜機械特性評価システム(ナノインデンテーション)

名称薄膜機械特性評価システム(ナノインデンテーション)
メーカー日本電子(株)
型式JSPS-4210
仕様○雰囲気制御
 温度:室温〜500℃(SPM観察時)、
 湿度:10%〜90%RH(25℃)
 真空排気系:油回転ポンプ、ターボ分子ポンプ
○走査プローブ顕微鏡
 走査方式 試料走査方式
 スキャナ チューブ型スキャナ
 変位検出系 光テコ方式
○トライボスコープ
 加重制御 静電気力方式
 変位検出 静電容量方式
用途 各種薄膜試料のナノインデンテーション測定による硬度評価、密着性評価および表面形状観察などが行えます。
分類表面処理・評価に関する機器
購入年度2001年度
設置場所群馬産業技術センター(前橋)
補助事業名電源地域産業集積活性化事業