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低真空走査電子顕微鏡(SEM)

名称低真空走査電子顕微鏡(SEM)
メーカー日本電子X
型式JSM-5600LV/JED-2200
仕様分解能:3.5nm(高真空モード),5.0nm(低真空モ−ド,EDS:B〜Uの元素分析可能
用途電子顕微鏡観察・分析を試料の前処理なしで行う
分類形態観察に関する機器
購入年度1999年度
設置場所群馬産業技術センター(前橋)
補助事業名中小企業庁技術開発研究費補助