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ナノ分解微小部表面分析装置(XPS,ESCA)

名称ナノ分解微小部表面分析装置(XPS,ESCA)
メーカーサーモフィッシャーサイエンティフィック(株)
型式Theta Probe
仕様・AlモノクロX線銃
・Ag/Mg ツインアノード銃
・オージェ電子分析用FE銃
・アルゴンイオンエッチング銃
・差動排気型アルゴンイオン中和銃
・最大エントロピー法(MEM)解析ソフト
・5軸ステージ
用途・X線光電子分光分析(XPS)によるサンプル表面の化学状態解析
 (定性分析、組成解析、線分析、面分析)
・アルゴンイオンエッチングによる深さ方向分析
・光電子複数角度同時取り込みによる非破壊深さ方向分析
・オージェ電子分光分析によるサンプル表面の化学状態解析
分類機器分析に関する機器
購入年度2010年度
設置場所群馬産業技術センター(前橋)
補助事業名財団法人JKAの 小型自動車等機械工業振興 補助事業(オートレースの補助)